光刻膠的作用 光刻膠的作用是什麼

1、光刻膠是一大類具有光敏化學作用(或對電子能量敏感)的高分子聚合物材料，是轉移紫外曝光或電子束曝照圖案的媒介。光刻膠的英文名爲resist，又翻譯爲抗蝕劑、光阻等。光刻膠的作用就是作爲抗刻蝕層保護襯底表面。光刻膠只是一種形象的說法，因爲光刻膠從外觀上呈現爲膠狀液體。

2、光刻膠通常是以薄膜形式均勻覆蓋於基材表面。當紫外光或電子束的照射時，光刻膠材料本身的特性會發生改變，經過顯影液顯影后，曝光的負性光刻膠或未曝光的正性光刻膠將會留在襯底表面，這樣就將設計的微納結構轉移到了光刻膠上，而後續的刻蝕、沉積等工藝，就可進一步將此圖案轉移到光刻膠下面的襯底上，最後再使用除膠劑將光刻膠除去就可以了。